吉通科技请求进步光刻机分辩率专利大幅度的进步光刻机的分辩率
来源:火狐直播吧    发布时间:2025-03-26 00:46:13

  金融界2025年1月28日音讯,国家知识产权局信息数据显现,吉通科技(广州)有限公司请求一项名为“改善4的一种进步光刻机分辩率的办法”的专利,公开号CN 119356036 A,请求日期为2024年7月。

  专利摘要显现,改善4的一种进步光刻机分辩率的办法,本发明将光存储单元置于物镜和晶圆之间,曝光时,信号光经过透镜体系后,在光存储单元以原子自旋波的方式暂时保存,光的能量转化为光存储单元介质原子的能量,随后所存储的光信息会依照本来的方向开释开来,可以视为1个抱负的点光源,这个点光源依照本来的方向传达,因为传达的途径没有透镜孔径约束,有用孔径变大,对应的艾里斑变小,最小可分辩尺度就会下降,当这个点光源到达晶圆时,艾里斑宽度变窄,光刻机的分辩率得到大幅度的进步,这样的好处在于对光刻机的孔径要求可以更好的下降,为完成相同的分辩率要求,透镜成像体系能选用小的孔径,这无形中下降了制作的难度和本钱。

  天眼查资料显现,吉通科技(广州)有限公司,成立于2021年,坐落广州市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册本钱100万人民币,实缴本钱100万人民币。经过天眼查大数据分析,吉通科技(广州)有限公司参加招投标项目16次,专利信息6条,此外企业还具有行政许可6个。

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